電子氣體是特種氣體的一個(gè)重要分支。電子氣體按純度等級(jí)和使用場合，可分為電子級(jí)，LSI（大規(guī)模集成電路）級(jí)，VLSI（超大規(guī)模集成電路)級(jí)和ULSI(特大規(guī)模集成電路）級(jí)。
近幾年來，智研數(shù)據(jù)研究中心隨著我國超大規(guī)模集成電路、平板顯示器、光伏發(fā)電等產(chǎn)業(yè)的迅速發(fā)展，電子氣體市場需求量明顯增長，電子特種氣體的國產(chǎn)化已是大勢所趨。據(jù)了解，我國在國產(chǎn)化方面取得可喜進(jìn)展：國產(chǎn)高純氨改變了國外氣體公司壟斷市場的格局，高純四氟化碳“有價(jià)無貨”時(shí)代也宣告結(jié)束，高純氯化氫已成功打開國內(nèi)市場。
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